全自动插板阀-AGV（Auto Gate Valve）

■■： 在CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder较多工艺的部门，常因PUMP不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生。同时还要对已污染腔体进行清洁保养，严重影响生产计划，降低产能。
■■： Gate Valves通过添加PUMP ON/OFF NC干接点，实现PUMP和Main Controller 的通信， 当PUMP异常停机时，Main controller收到信号后，立即关闭阀门，预防气体回灌，并保持管路压力。

■ 特点： 快速气动驱动装置在（0.2秒内关闭） 拥有低粒子生成屏蔽机制 打开/关闭循环期间的低冲击/运动 恒定泄漏率 Protection Ring保护 阀门打开状态时独特的直通设计，很好的保护驱动机构 隐藏式密封圈设计 内嵌式加热棒直接加热阀体 ■ 优势： 弹性体密封闸阀的最佳真空性能 可靠的性能 不利工艺条件下的长周期寿命 易于维护

常见问题：

1. Q:GATE VALVES安装需要提供什么？
   A: 需要提供单项AC220电源和CDA或N2气体，来支持整个系统的正常运行。
2. Q:GATE VALVES可否进行加热？
   A: 我司AGV&PGV产品阀体由是不锈钢件、铝件、密封套件组成，因密封套件限制，建议加热温度不超过180℃；HT-AGV自带加热系统，可直接对阀体进行加热，建议使用温度80℃左右。
3. Q:产品关闭时间分别是多久？关闭数据是如何获取的？
   A: PGV关闭时间≤ 0.8秒，HT-AGV&AGV关闭时间≤0.2秒；通过高速相机获取阀门开关状态的结点，从而得到阀门关闭时间。
4. Q:Pump异常Gate Valves关闭后，腔体压力会保持稳定吗？
   A: PGV&AGV产品区别于机械式逆止阀产品，设计之处拥有保持压力和防反腔的功能。
5. Q:当FAB突然停电时， Gate Valves是否失效？
   A: 设计之初已考虑到此状况的发生，因为动力单元是压缩空气，同时控制器内部装有储能电容，可在响应时间范 围内控制阀门关闭。
6. Q:GATE VALVES默认是否只能保持关闭动作？
   A: 不是，可设置默认开启状态或默认关闭状态，出厂设置默认为阀门关闭状态。
7. Q:贵司Gate Valves产品Bypass valve功能是？
   A: Bypass valve可使AGV在关闭状态，进行真空管道上下压力同步，防止在Pump Turn On时，由于压差突然变化，导致Pump过载、异常卡死等问题发生。
8. Q:贵司多通道控制器最多可以同时控制几个Gate Valves？
   A: 多通道AGV控制器目前最多可设计为4通道，同时控制4个Gate Valve的开关。
9. Q:贵司控制器可否查询Pump异常后阀门的关闭日志？
   A: 可以，控制器拥有运行日记审视及记录功能，可记录报警时间，时间精确到秒。
10. Q:贵司控制器可否手动控制Gate Valves的关闭？
    A: 可以，控制器拥有控制阀门开关功能；关闭后可进行机台的日常保养。
11. Q:产品质保期限是多久？
    A: 1 年
12. Q:贵司AGV相比PGV产品有什特点？
    A: ①AGV关闭时间快≤0.2秒；②AGV打开时可形成管道的独特设计，可以使得阀门拥有更好的使用寿命和 稳定性；③同等条件下AGV比PGV拥有 更高的使用寿命。