The Heating Jacket System  

 

1.“加热带”,又称为包覆式加热器

 

 

2.加热带是用来维持半导体产业中所使用的真空管路、气体管路中的温度。

 

 

3.当气体管路中的温度维持于一定范圆内时,制程所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中,因而可以减少机台的保养次数,同时可以延长相关没备的寿命。

 

 

4.加热带于半导体制程中,扮演着不可或缺的角色,尤其在WCVD Process,Metal Etch Process, LP-CVD NitrideProcess中,这种极容易产生化学生成物的制程中,更是需要加热带来解决管路阻塞问题。

 

特氟龙原丝布弯管
特氟龙加热带
硅胶加热带
气体管路

使用资财

 

 


 使用PTFE、Silica,弥补了前期产品固有的各项问题点(内温, 寿命, 硬化, 炭化等)

 虽然资材价格较高,但是能够通过自动化大幅度减少人工费,总体而言会提高价格竞争力.

 所使用的热射线为12㎛200根Stainless Steel,因热销能高所以对比其他公司电力消费降低30%,故不会
存在线路中断的情况。

 

制造方法

 

 


 因采用特殊的专利性热射线固定,故稳定性及安全性较高。

 合并CAD及热线缝纫机器, 用CAD设计热量的分布,基于此分布设计设置相关热射线,所以不管管道的
形态是什么样的对应热量可以非常均匀且稳定的分布.

 因为采用的设备是最高级且最新型的温度控制设备,所以能够全面有效的进行管理。
 

维护

 

 


 因采用特性优异的高价资材,所以寿命非常长,而且不会存在粘在管道上
的问题,所以交换起来容易。
 不会存在对于半导体或者LCD工程非常不利的Particle(提高收益率)。
 产品的保障期限为1年
 在制造产品时是以方便粘贴及交换的方式来制作的,所以装卸较为简单。
 维护费用非常低。

 

其他

 

 


 因生产自动化部分较多,生产TAT(Turn Around Time)较短,所以对比其他
竞争公司交货期间非常短.
 在温度管理系统中注入了包括Interlock的3个阶段安全设施,最大限度
的提高了安全性
 运用各工程类别品质管理系统,维持均匀的高品质性能。

MINI温控器:TC32-DM

产品竞争力/热能分布

           劣质公司                      MOL M&&E

改善前                           改善后

改善前                                     改善后

组网式单点温控柜
特氟龙原丝布加热带
法兰加热
特氟龙加热带
变径特氟龙加热带
弯管特氟龙加热带
特氟龙加热带
变径特氟龙加热带
台式(柜式)电控柜
MINI温控器:TC32-SM

产品结构

产品应用