The Heating Jacket System
1.“加热带”,又称为“包覆式加热器”
2.加热带是用来维持半导体产业中所使用的真空管路、气体管路中的温度。
3.当气体管路中的温度维持于一定范圆内时,制程所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中,因而可以减少机台的保养次数,同时可以延长相关没备的寿命。
4.加热带于半导体制程中,扮演着不可或缺的角色,尤其在WCVD Process,Metal Etch Process, LP-CVD NitrideProcess中,这种极容易产生化学生成物的制程中,更是需要加热带来解决管路阻塞问题。
使用资财
使用PTFE、Silica,弥补了前期产品固有的各项问题点(内温, 寿命, 硬化, 炭化等)
虽然资材价格较高,但是能够通过自动化大幅度减少人工费,总体而言会提高价格竞争力.
所使用的热射线为12㎛200根Stainless Steel,因热销能高所以对比其他公司电力消费降低30%,故不会
存在线路中断的情况。
制造方法
因采用特殊的专利性热射线固定,故稳定性及安全性较高。
合并CAD及热线缝纫机器, 用CAD设计热量的分布,基于此分布设计设置相关热射线,所以不管管道的
形态是什么样的对应热量可以非常均匀且稳定的分布.
因为采用的设备是最高级且最新型的温度控制设备,所以能够全面有效的进行管理。
维护
因采用特性优异的高价资材,所以寿命非常长,而且不会存在粘在管道上
的问题,所以交换起来容易。
不会存在对于半导体或者LCD工程非常不利的Particle(提高收益率)。
产品的保障期限为1年
在制造产品时是以方便粘贴及交换的方式来制作的,所以装卸较为简单。
维护费用非常低。
其他
因生产自动化部分较多,生产TAT(Turn Around Time)较短,所以对比其他
竞争公司交货期间非常短.
在温度管理系统中注入了包括Interlock的3个阶段安全设施,最大限度
的提高了安全性
运用各工程类别品质管理系统,维持均匀的高品质性能。
产品竞争力/热能分布
劣质公司 MOL M&&E
改善前 改善后
改善前 改善后